低温等离子工业废气处理设备与技术是一项集物理、化学、生物、环境科学于一体的交叉集成电子化学技术，由于其具有易于污染物分子有效分解、处理能耗低等特点，成为国内外最具发展前景的大气污染控制技术之一。该工艺应用广泛，有较大的推广价值，为工业领域中VOC有机废气及恶臭气体的治理提供了新的思路。
　　1、主要采用脉冲高频高压等离子电源线和双介质齿板式电源线装置，以端子式电形式产生高浓度离子。它是一种聚集材料，其高能电子可在几毫秒内瞬间穿透空气和排出分子，并发生一系列分化裂化反应，产生高浓度、高强度、高能量活化自由度。碱类与各种电子、离子等，与机械废气中的分子发生一系列物理和化学反应，在反应过程中产生各种活性自由基和生态氧，即由原子氧产生的分解产物。
　　2、活动性自由基能有效破坏各种病毒和细菌中的核酸和蛋白质，阻止正常的新陈代谢和生物合成，从而导致它们的死亡；生态氧能迅速含有大量有机废气分子。高能电子，正、负离子，激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基。该活性粒子与一些废气分子碰撞，同时产生大量的OH、HO2、O等活性自由基和极强氧化O3，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。